LABORATORIO DE DEPOSICIÓN DE NUEVOS MATERIALES MODELO V3 MARCA INTERCOVAMEX
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SISTEMA DE SPUTTERING, modelo V3 CON BOMBAS MECÁNICA Y TURBOMOLECULAR, 2 CAÑONES RF Y 1 DC, SISTEMA DE TEMPERATURA DE SUSTRATO HASTA 700 C Y MEDIDOR DE ESPESOR. Sistema muy versátil que permite depositar metales, aleaciones, aislantes, semiconductores, cerámicos y poder formar materiales compuestos. Alcanza vacío del orden de 3x10-6 Torr. |
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Institución
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Responsable
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Contacto
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 Microna - Verácruz |
Dr. Leandro García González |
Dr. Leandro García |